我们都知道大至飞机小至手机,整个产品生产过程都需要零部件供应商的协作,只要其中一环出现问题,如果不能找到替代品,成品的推出就会延迟。众所周知ASML光刻机用的光学镜头是德国蔡司造的,但是现在有个坏消息,由于蔡司的镜头供货量不足,导致ASML的EUV光刻机生产进度缓慢,7月份ASML在报告中表示积压了多达21个订单,每个订单成本高达1.5亿美元,今年最多也就能交付8、9台EUV光刻机。

  今年EUV光刻机的销售额可达到14.82亿美元,去年则是10.36亿美元,预计这个数字在2019年会进一步上升到30亿。ASML的客户都是一些半导体巨头,比如TSMC,三星,Intel等,如果拿不到EUV光刻机,生产计划必定会受到影响,谁也不想看到这样的情况发生。除了来自蔡司的镜头,EUV光刻机现在还面临一些问题,比如光刻机晶片的保护膜仍需要改进。

  三星和TSMC都宣布在下一年试产EUV圆晶,反观Intel的态度是不紧不慢,虽然Intel不是第一个用EUV技术量产圆晶的公司,但将来Intel会购买最多的EUV光刻机。

  从上表我们可以看到一些有趣的数据,今年三星在半导体业务上的支出已经达到了170亿美元,Intel是120亿,TSMC也有100亿,最少的是GF,不过所有厂商在EUV部分的花费总共才14.82亿,在2019年这个数字会进一步上升至30亿美元。

  被视为拯救摩尔定律的EUV技术,商业化之路走得真是艰辛......